Nízkonapěťový oblouk se ve světě využívá již od 70. let minulého století k depozicím nitridů přechodových kovů jako povrchové úpravy řezných a tvářecích nástrojů. V oblasti aplikací na řezné nástroje je nejrozšířenější technologií a její řízení není nikterak náročné. Mezi její hlavní výhody patří vysoký stupeň ionizace generovaných částic. Díky tomu lze snadno modifikovat strukturu povlaku změnou urychlovacího předpětí na vzorcích. Nízkonapěťový oblouk hoří za nízkých tlaků a průchodem proudu řádově stovky ampér na katodě dochází k intenzivnímu ohřevu materiálu na teplotu více než 10 000 °C. Díky této vysoké teplotě se materiál taví a odpařuje do prostoru depoziční komory, kde posléze kondenzuje na povrchu nástrojů a vytváří stabilní nitridy s vlastnostmi, které nejsou v přírodě běžné.
Některé materiály však mají nízkou elektrickou vodivost nebo vysoký bod tání, a proto nejsou vhodné jako terče pro obloukové napařování. Jedná se o keramické terče, mezi něž patří karbidy, boridy a některé oxidy. Přesto se i tyto terče používají pro depozice, a to pomocí magnetronového naprašování, kdy se povrch netaví, ale jednotlivé atomy se vyrážejí z povrchu terče po srážce s ionty pracovních plynů.