Jako jedna z mála technologií umožňuje nanášení vícekomponentních materiálů, piezoelektrických materiálů, feroelektrik, magnetik, supravodičů, izolátorů, polovodičů, optických vrstev, keramik, oxidů, nitridů, kovů aj. na nosné substráty skel, keramik, syntetických drahokamů (spinely, safíry a granáty), žáruvzdorných a vysokoteplotních kovů a slitin. Proces se vyznačuje volitelnými parametry nanášení s dodržením přesného stechiometrického složení a mřížkových parametrů, vícevrstvých povlaků a epitaxních vrstev s vysokým výkonem nanášení až 10 nm.s-1 a široce ovladatelným pracovním tlakem ve vakuu v mezích 10-9 až 1 mbar.
Typickým procesem je např. nanášení slinovaných vysokoteplotních supravodičů typu Ba2YCu3O7 na substráty ze safíru a MgO nebo steatitové keramiky s vysokou homogenitou proudové na nosné substráty niklových slitin. Nadějné jsou i možnosti výroby vrstev pevných elektrolytů pro vysokoteplotní palivové články SOFC.
Hybridní povlakování plasmaimpax
V kombinaci technologií povlakování PVD a CVD v hybridním procesu plasmaimpax pro úpravy nástrojů a strojních částí nabízí společnost AxynTec techniku, která vytváří povlaky axyprotect s optimální odolností vůči opotřebení ve spojení s dobrou adhezí povlaku a dostatečnou tvrdostí. Základem je modifikace uhlíkových vrstev podobných DLC, avšak specificky upravených pro dominující způsoby namáhání jednotlivých vrstev v tloušťkách 1 až 10 µm.
Vedle strojírenství nacházejí vrstvy své užití i v lékařské technice a optických technologiích.
-ab-