Témata
Reklama

Vysoce přesné broušení a leštění v jediném zařízení

Výroba substrátových disků (wafrů) se potýká s vysokými požadavky: stále tenčí wafry v nejvyšší přesnosti a povrchové kvalitě, a to v nejkratším čase. Řešením je Okamoto GDM300 - velmi přesná bruska kombinovaná s leštičkou wafrů od tloušťky 25 µm.

Ondřej Svoboda

Jednatel a spolumajitel společnosti Misan. Vystudoval čtyřleté gymnázium. Z mimoškolních aktivit se věnoval prakticky denně sportu. Po ukončení doktorského studia na ČVUT a nástupu do zaměstnání si dálkovou formou doplnil vzdělání v elektrotechnice (výuční list) z důvodu získání oprávnění pracovat samostatně na zařízeních pod napětím (vyhláška 50). Jeho volba padla na Strojní fakultu ČVUT, specializaci „výrobní stroje a zařízení“. Po ukončení doktorského studia spojeného se zaměstnaneckým poměrem ve Výzkumném centru pro strojírenskou výrobní techniku a technologii RCMT na Fakultě strojní ČVUT v Praze pracoval po dobu jednoho roku ve výrobním závodě jednoho z japonských výrobců obráběcích strojů v Anglii. Poté přišel do rodinné firmy Misan, kterou jeho otec spoluzakládal. Věří, že směřování jeho firmy najde pozitivní odezvu v českém průmyslu, jehož budoucnost vidí právě v zaměření na složité a přesné výrobky vyráběné s nejvyšší produktivitou. 

Japonský výrobce brusek Okamoto přispívá svými zařízeními k zefektivnění výroby substrátů a k dalšímu rozvoji polovodičové techniky. Vysoce přesná bruska a leštička GDM300 zpětně brousí a ve dvou procesech leští v plně automatickém procesu wafry velikosti 200 a 300 mm. Umožňuje dosáhnout zrcadlového lesku na discích tloušťky od 25 µm.

Reklama
Reklama
Reklama

GDM300 ve výrobě polovodičů

Pro výrobu substrátu typu Through-silikon-via (TSV) nebo povlakovaných a SOI disků hraje jakost povrchu významnou roli pro následné procesy výroby mikroprocesoru. Okamoto má hluboké a dlouholeté zkušenosti s vývojem strojů i výrobou polovodičů. S ohledem na hospodárnost a nejvyšší přesnost byl vyvinut i stroj GDM300. Koncept stroje zaručuje vysokou produktivitu broušení při dodržení úzké tolerance definované tloušťky disku (v řádu nanometrů), stejně jako dodržení výstupní vysoké jakosti povrchu na konci zabudované duální linky leštění.

Bruska Okamoto GDM300

Proces broušení

Zabudovaný vysokorychlostní robot se 6 řízenými osami automaticky obsluhuje jednotlivé pracovní procesy. GDM 300 je vybaven dvěma aerostaticky uloženými vřeteny s otáčkami 300 min-1 a třemi vakuovými upínači pro plynulé broušení bez nutnosti stroj zastavovat. Dvoubodové měření v reálném čase (in proces) trvale hlídá všechny nastavené parametry a v případě potřeby provede automaticky korekci. To zaručuje trvalou stálost výsledků broušení v povoleném rozpětí (TTV). Teplotní vlivy a vliv opotřebení brousicího kotouče jsou automaticky plně kompenzovány. Jako opci nabízí výrobce i bezdotykové měření, které se doporučuje pro tloušťky disků menší než 50 µm.

Proces leštění

Lešticí zařízení pracuje se dvěma vřeteny s nejvyšší přesností. Oscilační rychlost lze nastavit v rozsahu 100–9 000 mm.min-1. Jako opce jsou v nabídce zařízení na srážení hran pro vyloučení mikrovylamování materiálu z hran. Proces je propracován do vysokého standardu, který zaručuje, že následné operace jako povlakování, laminování nebo dělení lze provádět bezprostředně poté. Souběžné brousicí a lešticí operace výrazně zkracují průběžný čas výroby wafrů. Výkon zařízení se pohybuje kolem 30 wafrů za hodinu.

3D architektura mikroprocesorů

Společnost Sematech (SEmiconductor MAnufacturing TECHnology je neziskové společenství se společnou distribucí při Ministerstvu obrany USA a sdružuje hlavní společnosti podílející se na výzkumu a výrobě polovodičů) vybrala v roce 2011 zařízení Okamoto GDM300 jako výchozí pro vývoj a výrobu 3D procesorů.

Ondřej Svoboda

Misan
hendrichova@misan.cz
www.misan.cz

Reklama
Vydání #1,2
Kód článku: 130128
Datum: 13. 02. 2013
Rubrika: Výroba / Obrábění
Firmy
Související články
Je zaškrabávání nezastupitelná metoda?

V minulém vydání jsme uvedli 1. díl pohledu do minulosti i současnosti řemeslné výroby obráběcích strojů. Nyní vám přinášíme pokračování tohoto článku o unikátní metodě – technologii zaškrabávání.

Chytré stroje přivádějí továrny k životu

Bezpečné balicí stroje připojené k Ethernetu zvyšují produktivitu, zlepšují flexibilitu, snižují komplexnost konstrukce a řeší problémy pracovníků v provozu.

Nanovlákenná membrána v oknech ochrání stroje i pracovníky

Zatímco o smogu v ulicích se vedou časté debaty, znečištěný vzduch v interiéru patří k opomíjeným tématům. A to i přesto, že podle Světové zdravotnické organizace stojí život 4,3 milionu lidí ročně a v průmyslových objektech ohrožuje jak zdraví pracovníků, tak samotný provoz. Díky rozvoji moderních technologií nyní interiér účinně ochrání nanovlákenná okenní membrána.

Související články
Šetřete svoje síly!

Jednou ze zásadních myšlenek vedoucích k pokroku a zvyšování produktivity je dělba práce. Specializace na různé technologie umožňuje posouvat jejich hranice.

Reklama
Reklama
Reklama
Reklama
Související články
Harmonizace ve svařování

Mezinárodní harmonizace norem a pravidel pro svařování je důležitá z mnoha důvodů. Primárním důvodem je skutečnost, že svařování je považováno za "zvláštní proces" (EN ISO 9001), při kterém nelze zcela zjistit jakost po skončení procesu inspekcí, ale jakost musí být sledována před i v průběhu celého procesu svařování.

Soutěž pro středoškoláky

Jubilejní, již pátý ročník soutěže o Putovní pohár partnerských škol Siemens - Sinumerik Cup se letos konal v Mohelnici, v prostorech zdejší Střední školy technické a zemědělské a stejně jako před třemi lety, kdy tato škola byla hostitelem, i letos zdejší ředitel Jiří Ženožička se svým týmem organizaci pojal velmi profesionálně.

Optimalizace péče o ložiska zabraňuje odstávkám výroby

Ložiska jsou vysoce namáhanými součástmi pohonů, které v průběhu času podléhají opotřebení. S ohledem na to je zvláště důležité zahrnout je do plánů údržby, protože tato strategie pomáhá prodloužit životnost strojů nebo zařízení.

Velmi rychlá dvojčata

SolidCAM a InventorCAM jsou jeden a tentýž CAM program integrovaný v různých CADech (SolidWorks a Autodesk Inventor), proto má smysl mluvit o obou najednou. Neliší se funkčně totiž opravdu vůbec, pouze je uživatel ovládá ve svém oblíbeném CADu.

Opřít se o silného partnera

V dnešní době hospodářského růstu mnoho firem přemýšlí o rozšíření výroby. To se však neobejde bez úvah o tom, kde získat prostředky na nové stroje a zařízení. Řešení má jméno SGEF.

Upínače jsou stejně důležité jako stroj nebo nástroj

Výrobní zařízení pro třískové obrábění s nástupem CNC řízení a víceosých technologií významně změnily požadavky na složitost obrobků, řezné nástroje a v konečném důsledku také na automatizaci a robotizaci. Čemu se však často nevěnuje tolik pozornosti, jsou upínací technologie i přesto, že mohou mít zásadní vliv na výslednou kvalitu obráběného dílu, ale i na náklady.

Integrovaný obvod o tloušťce jedné molekuly

Lidstvo již zvládlo přeměňovat světlo na elektřinu a vytvořit akumulátory, v nichž nedochází k chemickým reakcím. Problémem však je, že tyto přístroje mají velmi nízkou účinnost. Nejlepších parametrů by se dosáhlo při použití polovodičů o tloušťce jediné molekuly. A ty se nyní naučili vyrábět vědci z ruského institutu MISiS, který je partnerem ruské korporace pro atomovou energii Rosatom.

Novinky ze světa 3D tisku

V uplynulém měsíci se v české kotlině seběhlo několik akcí, jejichž společným jmenovatelem byl průmyslový 3D tisk. Představeny byly nové produkční 3D tiskárny, profesionální tiskové materiály a zapomenout nesmíme ani na největší z těchto akcí, výstavu a konferenci 3dexpo.

Diskutovaný Průmysl 4.0

Fenomén Průmysl 4.0, nastínění možných směrů vývoje a příprava společnosti na změny způsobené novými technologiemi – to jsou diskutovaná témata konferencí a seminářů současnosti. Podpora výzkumu a vývoje se musí soustřeďovat na technologicky významné oblasti vycházející z potřeb české průmyslové praxe. Odborníci zdůrazňují potřebu vzdělávání a zvyšování kvalifikace zaměstnanců.

Řízení podniku podle ROI - OHLASY ČTENÁŘŮ

Množství ohlasů čtenářů na články, které v průběhu jejich postupné publikace přicházely, překročilo stovku. Věříme, že někteří čtenáři zareagují i na závěrečný článek, k němuž je tato příloha. Velmi si vážíme velké otevřenosti všech stanovisek. Abychom nic netlumili a na druhé straně nikomu v podniku jeho působnosti neublížili, uvádíme reakce anonymně. Plné znění reakcí, z nichž některé překračují i jednu stránku standardního textu, by stěží někdo četl. Vybíráme z nich proto vždy jen věty, charakterizující jádro. Pokud některé z ohlasů nezařazujeme, je tomu tak buď proto, že souhlasné příp. nesouhlasné stanovisko nebylo dle našeho názoru zdůvodněno věcně, nebo proto, že v rozsáhlém příspěvku bylo pro nás jádro obtížné identifikovat.

Reklama
Předplatné MM

Dostáváte vydání MM Průmyslového spektra občasně zdarma na základě vaší registrace? Nejste ještě členem naší velké strojařské rodiny? Změňte to a staňte se naším stálým čtenářem. 

Proč jsme nejlepší?

  • Autoři článků jsou špičkoví praktici a akademici 
  • Vysoký podíl redakčního obsahu
  • Úzká provázanost printového a on-line obsahu ve špičkové platformě

a mnoho dalších benefitů.

... již 25 let zkušeností s odbornou novinařinou

      Předplatit