Je známo, že stroj, jehož komponenty jsou ideálně teplotně řízeny, bude stabilní i přes okolní teplotní výkyvy. Konstruktéři v Röders vědí, že to by znamenalo velké vynaložené úsilí i extrémně vysoké dodatečné náklady. Röders proto nabízí koncept se třemi úrovněmi vybavení. Stroje jednotlivých úrovní byly testovány po dlouhý časový interval s různými teplotními výkyvy. Takto vznikly tři různé úrovně přesností podle požadavků zákazníků. Röders je nazývá Precitemp I, II a III. V závislosti na variantě jsou do částí stroje integrovány různé počty okruhů s chladicí kapalinou a je řízena teplota vzduchu ve stroji. Zůstatkové, byť minimální, odchylky jsou kompenzovány softwarově. Výsledky s plným vybavením jsou působivé. Je možné například udržet stroj geometricky přesný do ±1 µm při výkyvech okolní teploty ±3 K.