Spektrum oborů, k jejichž zkoumání přispěje, je však mnohem širší než jen oblast čipů. Nanolab umožní nové poznání například v oblastech zkoumání nádorových buněk, solárních článků či kosmického výzkumu.
„Připravujeme například spolupráci na vývoji antireflexních vrstev pro solární články ve spolupráci s laboratoří, která působí v rámci naší fakulty. Pomůže nám to i v projektech s diamantovou elektronikou, která vyniká vysokou odolností. Další oblastí uplatnění jsou kosmické technologie, ve kterých se angažuje veřejný i soukromý sektor,“ vysvětluje prof. Pavel Hazdra, vedoucí katedry mikroelektroniky FEL ČVUT.
Nová laboratoř je vybavena unikátními technologiemi z oblasti bezmaskové optické litografie, depozice atomárních vrstev (ALD) a hlubokého leptání reaktivní plazmou, které tvoří ucelený systém umístěný v prostorách s vysokou čístotou.
„Některé z těchto přístrojů dosud v ČR nebyly k dispozici, například nejnovější model optického litografu ML3 s přímým zápisem. Technologie ALD v naší laboratoři má výhodu velmi šetrného vkládání vzorků pomocí přechodové komory (load-lock) umístěné v dusíkové atmosféře a také v monitorování růstu pomocí optické elipsometrie umožňující růst zastavit při dosažení určitého počtu atomárních monovrstev,“ říká prof. Pavel Hazdra. Právě na růstu dielektrických vrstev technologie ALD se bakaláři budou seznamovat s přístroji, aby potom dále v magisterském studiu mohli vytvářet vlastní struktury.