Metoda ED-XRF je pro účely analýzy tloušťky pokovení nejčastěji používaným řešením, přičemž je zdokumentována v mezinárodních normách ISO, ASTM a dalších. Nastavení spektrometru Delta se provádí v samostatném empirickém modulu, který umožňuje definici uživatelských standardů a výpočet uživatelských kalibračních křivek včetně jejich uložení v samostatných uživatelských modulech pro individuální pozdější použití podle aktuální aplikace. Pro účely kalibrace pro analýzy tloušťky je nutné mít k dispozici podkladový materiál a fólie z kovu, který odpovídá povrchové vrstvě, o definované tloušťce. Tyto fólie jsou komerčně dostupné ve formě certifikovaných referenčních materiálů s běžnou přesností 5 % nebo lepší. Normy doporučují, aby při nastavení byly použity fólie o takových tloušťkách, které v dostatečné míře pokryjí požadovaný měřitelný rozsah. Hned v počátku je nutné podotknout, že metoda ED-XRF je omezena hloubkou průniku RTG paprsku do materiálu, a má tedy z hlediska maximální analyzovatelné tloušťky svá fyzikální omezení.
Toto omezení lze vidět na obr. 2, kde jsou zřejmé dvě fáze závislosti intenzity záření na tloušťce povlaku. V oblasti 1 je tato závislost lineární, takže tuto oblast lze využít na měření tloušťky povlaku. V oblasti 2 se však křivka mění z lineární závislosti na konkávní složitě definovanou funkci, která k měření není použitelná.
Standardní velikost měřené plochy u spektrometru Delta je 9 mm, tyto přístroje lze však vybavit kolimací, a pak je měřená plocha zmenšena na plošku o pouhých 3 mm. Touto metodou lze stanovit tloušťku až tří vrstev na sobě různých kovů na podkladovém materiálu (např. povlaky Ni na různých základních materiálech dovede měřit v rozsahu tloušťky 0 – 30 µm). V závislosti na použitých standardech a přístrojích je dosahovaná výsledná absolutní přesnost měření lepší než 5–10 % z měřené hodnoty. Typické měřicí časy jsou dvacet vteřin na jednu analýzu u SDD přístrojů, u přístrojů s SiPIN detektorem jsou časy měření delší.