Využití interferometrie pro měření tloušťky povlaku znamená výrazný kvalitativní pokrok v kontrole povlaků. Metoda využívá interferenční signály, kterými se přesně vymezí poloha povrchů povlaku a speciální algoritmus umožňující „vyjmout“ tloušťku povlaku z interferogramu. V některých případech lze získat z měření i další informace o povrchu.
Pro měření je připravenmoderní interferometr Form Talysurf CCI HD vybavený kamerou až 4 miliony pixelů, se subnanometrickým vertikálním rozlišením (0,1 Å). Přitom každý pixel působí jako vlastní optická sonda 1 μm, což zajišťuje měření vysokou rychlostí vícenásobných vrstev povlaku, s nezávislým měřením tloušťky v každém bodě.
Kombinace patentovaného softwaru „Film Thickness“ s koherentním korelačním interferometrem CCI zajišťují unikátní možnosti měření tenkých povlaků.
Technologie CCI nabízí dvě různé metody měření tlouštěk:
• silný povlak (> 1,5 μm);
• analýzy tloušťky vrstev (až k hodnotě 50 nm, příp. menší).
Je-li tloušťka vrstvy větší než 1,5 μm (v závislosti na indexu refrakce), potom jsou u povlaku registrovány dvě hraniční pole vytvořená rozhraním povrchů. Z těchto polí (vzduch/povlak a povlak/substrát), přesněji z poloh maxim a využitím indexu lomu lze potom stanovit hodnotu tloušťky povlaku.