Co se týká nástroje, proces obrábění ovlivňuje především řezný materiál, geometrie a povlak. Řezným materiálem je slinutý karbid. Jedná se o práškový materiál, který se skládá z karbidu wolframu, kobaltu a z přísad pomocných látek pro lepší lisování a vstřikování materiálu. K výrobě mikronástrojů s precizní geometrií se hodí výlučně jemnozrnný slinutý karbid s velikostí zrn mezi 0,2 µm a 0,5 µm.
U břitu ze slinutého karbidu s určitou geometrií břitu je po slinování zpravidla potřebné zařadit proces broušení. Odpovídající tvar brusného kotouče má velikost brusných zrn mezi 15 a 64 µm, což již omezuje geometrii minimálního poloměru vnitřního rádiusu. V praxi se ukázalo, že nejmenší velikost vnitřního radiusu je kolem 50 µm (obr. 2). K tomu je nutné počítat s téměř nevyhnutelnými rýhami po broušení a podélnou drsností břitu, která se pohybuje v řádu mikrometrů.
Součinitel tření mezi břitem nástroje a obráběným dílem se sníží, když na nástroj naneseme otěruvzdorný, teplotně stálý povlak. Příslušný povlak má průměrnou tloušťku vrstvy asi 3 µm, přičemž velice záleží na technologii povlakování. Například při technologii povlakování PVD (v elektrickém oblouku) nebo ARC (obr. 3) vzniknou nerovnosti, které se při povlakování usazují na povrchu materiálu. Nerovnosti mohou mít velikost mezi 0,5 až 20 µm a mají geometricky nedefinovatelnou formu. U mikrofréz povlakovaných postupem ARC je taková nedefinovatelná nerovnost vrstvy (obr. 4) pro mikroobrábění nežádoucí. Zřetelné zlepšení povrchu nástrojů firmy Horn přináší nasazená technologie povlakování CemeCon. Technologie je založena na vypuštění tavné fáze nosného materiálu, čímž zabraňuje tvorbě vrstvy Droplets a v oblasti mikrorozměrů vzniká rovný povrch. Při tloušťce povlakované vrstvy asi 3 µm vykazuje ostří bez dodatečné úpravy vždy určité zaoblení, a to ovlivňuje proces obrábění (obr. 5).