Šťastným tahem Deutsche Messe se stalo loňské uvedení samostatného veletrhu MicroTechnology s prezentací technologií budoucnosti: nanotechnologie, mikrotechniky, laserových technologií a ultrapřesné výroby. Jejich výsledky se úspěšně promítají do oborů, které jsou nositeli růstu, jako automatizace, komunikace, senzorika, přístrojová technika pro medicínu a obory "life sciences". Obrat v mikrotechnice dosahuje výše, o níž se firmám ve strojírenství jen zdá. Ve sdružení pro mikrotechniku IVAM dosáhlo 115 členů s průměrně 12 zaměstnanci v roce 2001 průměru ročního prodeje přes 89 tis. EUR na zaměstnance a plánuje 190 tis. EUR na rok 2004. Inovační firmy přitom vznikají jako spin-off výzkumných institucí nebo dceřiné společnosti velkých firem, které jejich produkci aplikují.
Jednou z nich je mymotors & activators, která vyrábí mikromotory o průměru 16 mm a tloušťce 2,5 mm, s otáčkami 0 - 60 000 min-1 a krouticím momentem až 34 mN.m. Mikromotory používá její mateřská firma, výrobce ložisek FAG Kugelfischer, na výrobu mikropohonů pro mikrorobotiku a lékařské přístroje. Patří sem i spin-off firma microdrop, vyrábějící mikrodávkovací systémy pro lepidla a pájky ve výrobě a značení mikročipů a optických komponent, mikromazací systémy ap., v objemu kapky mezi 30 - 500 pikolitru (1 pl = 10-12 l).
Mikrotechnice se podřizuje i vývoj v oboru laserů pro submikrobrábění, např. pro obrábění mikrootvorů pro inkoustový tisk s rozlišením až 720 dpi se používají lasery MikroLas. Připravuje se výroba polovodičových čipů integrace VLSI o velikosti pod 100 nm technologií litografie NGL (Next Generation Lithography) pomocí laserů Xtreme pracujících při 13,5 nm v extrémní ultrafialové oblasti (EUV) a fluorových F2 excimerových laserů, např. NovaLine F 2020 (Lambda Physik) pro přenášení designu čipů na křemíkové destičky EUV zářením 157 nm.
K velkým technologickým problémům zpracování materiálů klíčových technologií patří přesné obrábění vysoce tvrdých a křehkých materiálů - aluminoxidové a zirkonoxidové keramiky, křemenného skla, křemíku, karbidu wolframu, cermetů, aluminidů, silicidů a uhlíkových vláken. K řešení využila skupina Gildemeister ve firmě Hermann Sauer a ve spolupráci s ústavem Fraunhofer Institut für Produktionstechnologie (IPT) v Cáchách podpory ultrazvuku při broušení, vrtání a frézování v konstrukci strojů DMS 35 ultrasonic a DMS 50 ultrasonic. Nové tříosé CNC stroje s pomocí ultrazvuku jemně rovinně brousí křemíkové destičky až do průměru 300 mm s jakostí povrchu Ra až 0,2 µm náhradou za lapování. Bez podpory ultrazvuku pracují stroje s otáčkami vřetene 3000, resp. 4000 min-1, při použití diamantových stopkových nástrojů a speciálního ultrazvukového vřetene se 3000 až 60 000 min-1a s frekvencí ultrazvuku 18 až 28 kHz; u zvláště jemných prací 30 až 46 kHz. Mikrootvory do průměru 0,3 mm jsou řešitelné. Výhodou je použití vody jako řezné a chladicí kapaliny.