Filtrace představuje velmi důležitý prvek procesu analýz textury povrchu ovlivňující hodnoty měřených parametrů. Aplikace filtrací v analýzách má řadu důvodů. Např. morfologický filtr se běžně používá ke korekci vlivu snímacího hrotu na nezpracovaná data nebo se filtrací odstraňují odlehlé výstupky při „čištění“ změřených dat optickým snímačem atd. Ovšem hlavním důvodem filtrace je separace krátkovlnných a dlouhovlnných složek profilu povrchu, tzn. oddělení vlnitosti od drsnosti a stanovení odpovídajících charakteristických parametrů.
Základním cílem prvních filtrů RC, tvořených odpory a kondenzátory, bylo zabránit velkým změnám výstupního signálu, aby bylo možné profil povrchu správně indikovat nebo zobrazit. Postupným vývojem se začaly využívat počítače jako vyhodnocovací prostředky profilometrů, s aplikací desek analog/digital. Poté byl normalizován filtr pro úpravu profilu povrchu typu 2RC – jedná se o dvojitý analogový RC filtr s oddělenými články. Nedostatkem tohoto typu filtrů je zkreslení přenosové funkce způsobené zejména fázovým posunem. K řešení problému byla připravena verze fázově korigovaného filtru označená 2RC-PC, ale současně se intenzivně pracovalo na vytvoření nového korektnějšího filtru.
Podobně jako byly jednotlivé profily při hodnocení 2D definovány podle filtrů (ISO 11562:1996), bylo třeba jednotlivé povrchy pro 3D hodnocení definovat podle nových filtrů. Proto byla v návaznosti na standard ISO 25178 (Textura povrchu: Plocha) připravena norma ISO/TS 16610, která zahrnuje veškeré současné prostředky filtrace využívané při zpracování profilu v režimu 2D hodnocení, ale i stávající a zejména nové filtry vhodné pro úpravu povrchu v prostorovém hodnocení 3D. Nový standard definuje filtry typu Gauss, spline, robustní, morfologické, wavelet, cascading atd. Na některé z nich je z hlediska využití při analýze textury povrchu dále upozorněno.
Norma Gaussova filtru definuje převodovou funkci pro nízkopropustný filtr vytvářející vlnitost (střední čáru) profilu. Odečtením této střední linie od základního profilu se získá drsnost profilu povrchu.